產品目錄 / Product catalog
一、前言
近(jin)幾年來,隨著(zhu)高科(ke)技的(de)發展,薄(bo)膜(mo)技術(shu)已成為一門綜合性的(de)應(ying)用科(ke)學。本文介紹了制(zhi)備薄(bo)膜(mo)的(de)液相法——浸(jin)漬法的原理(li)。
在(zai)這個高度信息(xi)化的社會,各種(zhong)技術(shu)當中薄膜技術(shu)發(fa)揮著非常重要的作用。
二、分類
形成薄膜的技術通常分為兩類(lei),一(yi)類(lei)是氣相(xiang)法,另一(yi)類(lei)是液(ye)相(xiang)法。
1、氣相法
氣相法雖能生(sheng)成(cheng)均一且(qie)致密的(de)薄(bo)膜,但是(shi)由于使用真空裝置,所以(yi)設備成(cheng)本昂貴(gui)。而液(ye)相法非常簡便,所以(yi)近(jin)些年,在(zai)金屬、半導體等(deng)領(ling)域。
2、液相(xiang)法
液相法(fa)(fa)作為一個廉價、節能的新(xin)型(xing)薄(bo)膜(mo)形成技(ji)術(shu)備(bei)受(shou)青(qing)睞。液相法(fa)(fa)根據涂布方(fang)法(fa)(fa)分(fen)為旋涂法(fa)(fa)(spin coating)浸(jin)漬法(dip coating)和噴(pen)涂法(spray coating)等。
① 旋涂法是在高速旋轉的基板上滴下被涂液,根據向(xiang)心力形成均勻薄膜(mo)的(de)(de)方法。它通過基(ji)板(ban)旋(xuan)轉數與涂布(bu)液的(de)(de)濃(nong)度(du)(du)控(kong)制薄膜(mo)的(de)(de)厚度(du)(du),但是很難(nan)實現在(zai)大面積基(ji)板(ban)上的(de)(de)涂布(bu)。
② 噴涂法是(shi)將(jiang)涂布液噴在基板上,它(ta)可以進行連續涂布,但是(shi)不容(rong)易做到涂敷均勻。
③ 和這些方法(fa)比(bi)較,浸(jin)漬法(fa)是將基板(ban)浸(jin)漬在涂布液中(zhong),然后(hou)以(yi)一定的速(su)度(du)將其(qi)提拉使其(qi)表面上形成薄(bo)(bo)膜的方法(fa),此法(fa)非常(chang)簡便,而(er)且根據涂布液粘度(du)及(ji)提拉速(su)度(du)來控制薄(bo)(bo)膜厚度(du),從而(er)解決了上述方法(fa)中(zhong)不(bu)能大面積均勻(yun)涂布的問題。
三、原(yuan)理
浸漬法是指如下圖所(suo)示,將(jiang)基板浸漬在涂布液(ye)中,以(yi)一(yi)定(ding)的速度向上提拉,然后將(jiang)附著在基板上的液(ye)膜(mo)干燥使其成膜(mo)的方法(fa)上。
▲注意事(shi)項: